| 症 状 | 原因と対策 | |
| 表示が0.000ｐｐｍ | １、ランプ不良 ２、ＬＡＭＰ キバン不良 |
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| 流量4.00、圧力999.0、 | １、フロ−ブロック部の圧力センサ-SXO1D不良 ２、キバンのＩＣ：Ｘ２４ＣＯ２Ｐ不良 |
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| ランプ | Ｉｎｐｕｔ：99の場合 | １、ランプ不良。 ２、ランプ光量調整する |
| リセットが連続して掛ける、画面がオゾン計になったり、ＣＯ計になった,ＳＯ２計になったり。 | ランプの不良で（異常放電する）リセットが連続して掛ける、交換する。 | |
| Ｌａｍｐ 電流がマイナス、Ｈｉｇｈ ＶＯＬＴＡＧＥ＝0 REF. VOLTAGEがマイナスですＺＥＲＯ ＦＬＯＷが表示 |
ランプの不良 ＩＣ：Ｘ２４ＣＯ２Ｐ，Ｘ９Ｃ１０３Ｐ、ＡＤ７０４Ｊ不良か ＩＣ交換して、圧力、流量校正が必要 |
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| 初期化画面を繰り返す | ＰＲＩＮＴＥＲの ｏｕｔｐｕｔ がＤＩＳＡＢＬＥＤになっている。 スイチングレキューレータ不良。 |
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