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| データ全部正常、画面表示０．０００ ppm | １、Ｏ３発生器不良 ２、span instrument gain 0 ３、真空管Ｒ928不良 |
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| 感度が低い | ＰＭＴ部の不良 | |
| ノイズがある、 |
１、リ−クがある ２、継ぎ手の所にリ−クがある、 ３、span instrument gain が高すぎる。 ４、O3発生器の入口流量が大幅に流れる、ｐ−３ Ｏリングを交換する ５、ｃｏｏｌｅｒ 不良 |
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| ＨＩＧＨ ＶＯＬＴ. | HIGH VOLTAGE:0から600までの 間変化する |
ソケットかコネクターの接触不良 |
| HIGH VOLTAGE：が０になった。 | プリプロセッサ−キバンのIC(X9C103P)不良 | |
| オゾン計になったり、ＣＯ計になったＳＯ２計になったり。Ｌａｍｐ 電流がマイナス、Ｈｉｇｈ ＶＯＬＴＡＧＥ＝0REF. VOLTAGEがマイナスですＺＥＲＯ ＦＬＯＷが表示 | ＩＣ：Ｘ２４ＣＯ２Ｐ，Ｘ９Ｃ１０３Ｐ、ＡＤ７０４Ｊ等の不良 |
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| 初期化画面を繰り返す |
ＰＲＩＮＴＥＲのｏｕｔｐｕｔがＤＩＳＡＢＬＥＤになっている。 スイチングレキューレータの不良 |
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| 電磁弁 | ステータス情報は全部正常、ＳＰＡＮガスを流すと濃度がうねる。 | 5個の電磁弁の開閉不良 |
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ステータス情報は全部正常。 ノイズがある。 4.205ｐｐｍ ｓｐａｎ ガスを流して最初の1分位は正常で、すぐ1ｐｐｍくらいから 0.4ｐｐｍくらいにさがる |
電磁弁の流量、リックをチェック、電磁弁を分解清掃 | |
| コンバ−タ-の効率が60％しかない触媒交換しても、結果が同じです | 電磁弁Ｖ3が不良 | |
| 内部ポンプ | 内部ポンプ回らない |
１、フロントパネルのポンプスイッチが”ｏｆｆ”である。 ２、ヒュ−ズが切れている。 ３、コンバ−タ温度が200度以下である。 ４、ポンプ用ソケットがしっかり差し込まれていない。 ５、プリプロセッサ-キバンのｐｏｗｅｒ ＴＲ（ＩＣ）が壊れている。 |
| 圧力 | セルの圧力が高い |
１、ポンプの不良 ２、リ−クがある ３、オゾン用Ｏリング不良 ４、圧力センサ-が故障又はセンサー用メモリー値が変化した。 |
| コンバ−タ− | スイッチ"on"して、conc.tempすぐ250℃になった。 |
温度センサーの不良。 |
| ＣＯＮＶ．ＴＥＭＰ：４５０℃になった。 |
１、コネクターの差し込み不良。 ２、IC(LT1025）の不良 |
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| コンバ−タの温度が室内温度 |
コンバ−タのヒタ-不良 | |
| 触媒効率低下 |
１、温度が314度にならない ２、リ−クがある ３、一応ＮＯとＮＯ2のｏｆｆｓｅｔ値を調べる。 ４、メモリ-を、オ−ルクリア-する。 ５、触媒の不良 |
備考：
上記原因と対策の中で黒字書いた不良の場合はお客様自分でチェックできます。赤字で書いたところは当社に修理に
出す必要があります。